Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg

Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen



Datum: 01.07.2008


Autor


Berichterstatter

  • Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. mult. Dr. h.c. mult. M. Geiger
  • Prof. Dipl.-INg. Dr. techn. D. Schuöcker (TU Wien)

Im Rahmen der Arbeit wird ein Lösungsansatz auf Basis eines Flüssigkeitsfilmes untersucht, um beim Abtrag keramischer und metallischer Werkstoffe mittels Excimerlaserstrahlung Materialablagerungen zuverlässig und mit geringem technischem Aufwand zu verhindern. Die Untersuchungen zeigen, dass durch den Einsatz einer dünnen Flüssigkeitsschicht auf der zu bearbeitenden Werkstück-Oberfläche die Ablagerung abgetragenen Materials vollständig vermieden werden kann. Die an die Flüssigkeit mittels Wärmeleitung übertragene Energie führt zur Bildung von lokalen Dampfblasen, die nach Beendigung des Laserpulses kollabieren. Die sowohl während ihrer Entstehungsphase als auch beim folgenden Kollabieren der Dampfblasen entstehenden Druckwellen verdrängen die Schmelze innerhalb der bestrahlten Fläche und bewegen die Materialpartikel von der Substratoberfläche weg.