Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg



Submikrojustage mittels Lasertechnologie



Projektstatus: abgeschlossen

Mitarbeiter


Die industrielle Produktion von elektrischen, optischen und mikromechanischen Komponenten fordert aufgrund der ständig zunehmenden Miniaturisierung eine verbesserte Richttechnologie. Der Schwerpunkt dieses Projektes bestand im Aufbau und der Qualifizierung eines schnellen und flexiblen industriellen Prozesses, der mittels Laserstrahlung Mikroteile mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich richtet. Spezielle Aktoren in Verbindung mit angepaßten Laserparametern ermöglichen dabei das Justieren von elektrischen, magnetischen und optischen Komponenten mit einer Genauigkeit von unter 1 µm. Dabei wurde neben der Simulation des thermischen und mechanischen Verhaltens der Aktoren ein robuster Regelkreis aufgebaut. Dieser kann flexibel für verschiedene Aktoren eingesetzt werden und reagiert sicher auf beliebige Störgrößen. Zur Regelung werden dabei parametrisierte Modelle angewandt die auf der Grundlage von Experimenten das Aktorverhalten vorhersagen und die notwendigen Bestrahlungsparameter berechnen. Diese werden automatisch an die Lasersteuerung übermittelt. Nach Bestrahlung des Aktors schließt eine entsprechende Messtechnik den Regelkreis.


Letztes Update: 30.04.2010