Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg



Qualifizierung des Excimerlaserstrahlabtragens unter Wasser für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Komponenten



Projektstatus: abgeschlossen

Mitarbeiter


Die fortschreitende Miniaturisierung führt zu stetig steigenden Anforderungen an die Bearbeitungsqualität, die mit den eingesetzten Herstellungsverfahren erzielt werden muss. Laserstrahlung hat sich gerade in der Mikrosystemtechnik als ein geeignetes Werkzeug erwiesen. Bei der Erzeugung sehr kleiner Strukturen stellen Verunreinigungen durch Materialpartikel bzw. Schmelzebildung ein mögliches Problem dar, das bei der Bearbeitung keramischer und metallischer Bauteile beachtet werden muss. In umfangreichen Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass die negativen Erscheinungen bei der Bearbeitung mittels Excimerlaserstrahlung durch das Aufbringen eines dünnen Flüssigkeitsfilms vollständig vermieden werden können. Die Flüssigkeit wird dabei während der Bestrahlung aufgesprüht, um verdampfte Anteile zu ersetzen. Neben einer Reduzierung der Abtragsrate ? auf Grund des Wärmeabflusses in die Flüssigkeit ? wird sowohl bei Keramiken als auch Stählen die sich am Strukturboden ausbildende Oberflächenform deutlich beeinflusst. Dabei entstehende Mikrokavitäten erweitern die Einsatzmöglichkeiten der Excimerlaserstrahl-Materialbearbeitung unter einem Flüssigkeitsfilm erheblich.


Letztes Update: 01.01.2010