Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg



Entwicklung keramischer Schichten durch Pyrolyse, insbesondere Laserpyrolyse metallorganischer Polymere



Projektstatus: abgeschlossen

Mitarbeiter


Die Laserpyrolyse von Polysilazan stellt ein neuartiges Verfahren zur Herstellung keramikar-tiger Strukturen dar. Mit Hilfe eines schreibenden Lasersystems wird eine auf einem Substrat applizierte Precursorschicht selektiv nach einem vorgegebenen Muster pyrolysiert. Anschlie-ßend werden die nicht bestrahlten Schichtbereiche mit einem Lösungsmittel entfernt. Als Ergebnis bleibt eine erhabene, haftfeste und keramikartige Struktur zurück. Um diese nutzbar zu machen, kann mit Hilfe geeigneter Füllerpulver ihre Funktionalisierung erreicht werden. So lassen sich gezielt elektrische, magnetische oder chemische Struktureigenschaften entwi-ckeln. Aufgrund ihrer keramischen Beschaffenheit eignen sich die funktionalisierten Struktu-ren für die Entwicklung hochtemperaturstabiler Steuerungs- und Sensorelemente, z.B. für den Einsatz im Motoren- und Getriebebau. Die Flexibilität des Strahlwerkzeugs Laser bietet dabei die Möglichkeit, nahezu beliebig komplex geformte Trägersubstrate mit keramischen Struk-turen auszustatten, wodurch sich eine optimale Bauraumausnutzung realisieren lässt. Weiter-hin soll untersucht werden, inwieweit das Verfahren auch zur Generierung dreidimensionaler Mikrostrukturen geeignet ist.


Letztes Update: 27.04.2010