Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg



Lasergestützte Montage mikrooptischer Komponenten



Projektstatus: abgeschlossen

Mitarbeiter


Die bei hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit eingeschränkte Zuverlässigkeit von Klebeverbindungen in Teilbereichen der Optoelektronik erfordert die Entwicklung alternativer Fügeverfahren. Am Beispiel der Ankopplung von Glasfasern an optische und elektrooptische Bauteile, d.h. der Fixierung von Glasfasern in Silizium-V-Nuten, werden die lasergestützten Fügeverfahren Laserstrahlschweißen und Laserstrahllöten untersucht. Beim Laserstrahlschweißen wird das Silizium in Umgebung der Glasfaser aufgeschmolzen. Beim Erstarren dehnt sich das Silizium aus und bildet Aufwürfe, die die Glasfaser form- und zum Teil stoffschlüssig mit dem Silizium-V-Nutenträger verbindet. Für das Laserstrahllöten müssen sowohl der Silizium-V-Nutenträger als auch die Deckplatte aus Silizium bzw. Pyrexglas metallisiert werden. Anschließend wird ein AuSn-Lotdepot galvanisch aufgebracht und mit Nd:YAG-Laserstrahlung aufgeschmolzen. Faserauszugtests haben gezeigt, daß die zur Qualifizierung der Fügeverbindung erforderliche Zugkraft von der Faser auf das Siliziumsubstrat übertragen werden kann. Anhand von Temperaturwechseltests und Feuchtelagerungen wird die Zuverlässigkeit der gelöteten Bauteile untersucht.


Letztes Update: 28.04.2010