Lehrstuhl für Fertigungstechnologie, Universität Erlangen-Nürnberg



Laserstrahlunterstützte, strukturierte Metallisierung von räumlich spritzgegossenen Schaltungsträgern 3-D MID - Technologische Untersuchungen



Projektstatus: abgeschlossen

Mitarbeiter


Nach den vorangegangenen, grundlegenden Untersuchungen zur Optimierung der chemischen Zusammensetzung der eingesetzten Resists erfolgte die versuchstechnische Ermittlung des Prozeßfensters für die Laserstrukturierung mittels Ablation und Belichtung. Die Untersuchungen in Abhängigkeit von Laserparametern und Bearbeitungsgeschwindigkeit wurden in erster Linie auf planaren Probekörpern durchgeführt. Es erfolgte außerdem die Integration einer 3D-Fokuslagensteuerung in die im Rahmen des Projektes realisierte Laserbearbeitungsanlage, die eine Übertragung der Strukturierungstechniken auf räumlich geformte Bauteile ermöglicht. Diese dienen zum Projektende auch als Demonstratoren für die Leistungsfähigkeit der verschiedenen Verfahren. Ebenso war es möglich, ein neues, additives Metallisierungsverfahren Lift-Off-Technik für die Laserbearbeitung von 3-D MID zu qualifizieren.


Letztes Update: 27.04.2010